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扩散源

圣戈班氮化硼是半导体行业掺杂硅片所用的固态扩散源PDS的领先供应商，被17个国家的150多家半导体设备制造商所使用。产品非常适合需要使用高浓度掺杂剂掺杂大直径硅片，特别是150毫米直径硅片并进行大批量生产的应用。PDS产品可取代诸如三氯化硼、三溴化硼、乙硼烷、三氯氧化磷和磷化氢等有害化学掺杂剂。